明日、明後日セミコンジャパンに行ってきます。
見たいこと、聞きたいことが沢山あるのですが、
準備としては、自分が「萌え」を感じる、エッチング装置、スパッタリング装置、露光装置などの装置系を中心に各企業別の展示予定品に関係しそうな明細書の読み込みをしました。
各装置にそれぞれ課題はあるのですが、課題の共通点として「均一にする」ことがテーマの技術の多さを感じました。
例えば、日立ハイテクノロジーさんのプラズマエッチング装置では、加工する際にウェハ上で起きる化学反応を均一にするために、プラズマガスの分布を均一にする必要があり、プラズマを生成する反応ガスとは別にチャンバ内に導入される不活性ガスの吸出口を複数設け、プラズマの状態によって不活性ガスを導入する吸出口を制御して、プラズマ分布を均一にする技術や、
特開2017-55035 プラズマ処理装置
露光装置では、筒内に設置された光源から同じく筒内に設置された複数のレンズを使って光を平行化（コリメート）して、照度を均一にする技術がウシオ電機さんから出願されています。
特開2018-155982
光照射装置及びこれを備えた露光装置
複数のレンズって言いましたが、5枚も使われています。
また、光をなるべく遠くに届かせるために光をレンズによって平行化しますが、それとは別に酸素が存在すると酸素が光を吸収してしまうので、なるべく酸素を筒内に存在させないように、ガスが上方から下方に向かって流れるように導入されます。
ところで、酸素は波長100～240nmの光を吸収します。そして、この露光装置の光源（ショートアークフラッシュランプ）の波長は200nm以下。
参考 http://www.mext.go.jp/b_menu/shingi/gijyutu/gijyutu3/toushin/attach/1333534.htm
吸収のメカニズムは、光などの外からの刺激を受けた酸素原子がエネルギーを受けて基底状態から励起状態になります。
励起状態は不安定で、また基底状態び戻ろうと、その時に吸収したエネルギーを光として放出しますが、励起して戻るまでにエネルギーを使うので吸収した時よりは弱い光を放出することになります。
このため、光をなるべくそのままの照度で対象物に届けたい上記の露光装置では、このような酸素による光の吸収を抑制するために、酸素が溜まりそうな箇所は風向板が設けられ、溜まった酸素がガスに押されて下方に流れるような工夫もさています。
もう一点、均一にしたい＝局部的な偏りをなくしたいための技術としては、アルバックさんの、スパッタリング装置。
ターゲットを支持するシールド板に、プラズマで発生する電子が流れ込み、シールド近くのターゲットが局部的に侵食されてしまうので、その侵食を抑制する技術が出願さてています。
特開2018-135575 スパッタリング装置
黄色の部分がスパッタされるターゲットで水色部分がシールド板。オレンジで囲ったターゲットの縁部が侵食されやすい部分。
この問題を解決するためにとられた方法が、シールドに負電荷をもった直流電柱をかけること。
負電荷をかけることで電子の流れを抑制し、ターゲットが偏って侵食されるのを抑制します。
ということで、読んだ明細書の中には、この他にもいろいろな課題と解決法がありましたが、「均一にする」というテーマに絞って例をあげてみました。
しかし、これまでは前田先生の本から始まり、明細書の紙面上と企業のHP上で情報を集めただけ。ついに、明日、明後日は実物を見ることができます。
せっかくのチャンス、後で発信できるように沢山吸収してきます。
装置以外の興味ターゲット
ミニマルファブ
この他に、楽しみにしているのが、小型の半導体装置、ミニマルファブ。
参考 https://www.yokogawa.co.jp/industries/ssd/minimal-fab/
昨年のセミコンジャパンにも出展されていたようですが、手のひらに収まるサイズのケースの中にあるウェハを装置にセットして、プロセスの各工程を行える装置。
上記のリンクの横河ソリューションサービスさんのミニマルファブの動画は、自分も自分の思ったパターンをウェハ上に作ってみたい。と思いたくなるような動画です。
横河ソリューションさんのミニマルファブについてのセミナーも開催されるので、見に行こうと思います。
自動車関連企業のブース
ここ最近、回生ブレーキだー、デファレンシャルだー、と自動車関連の技術に没頭しているわたくしです。自動車関連企業がどんな展示をするのか興味深々です。
ダイレクトに自動車関連企業というと、トヨタ、テスラモーターズ、ボッシュの3社が出展者一覧の中から見られますが、3社ともどんなものが展示されるのか情報がつかめず十分な下調べはできませんでした。
ボッシュについては、最近、曲面メータパネルを量産車（フォルクスワーゲン社のTouareg）に初めて搭載されたことが話題になっているようです。スピードメータ以外にも運転者の目の前のパネルでナビなどを見ることができるようです。
参考 https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000239.000005028.html
もし、展示されているようなら、どんなものか見てみたいです。
また、テスラモーターズは、セミコンジャパンの出展者情報には、「想像を超える試乗体験はこちら」という魅力的な文面がありますが、記載されているリンクはエラーがでていました。
セミコンジャパンでテスラモーターズの自動車が試乗できるのでしょうか？？？可能であれば試乗してみたい。。。
いずれにしても、何が行われるのか楽しみです。
とうことで、本日はここまでで。明日は早いので寝ます。
学習記録 12/10
学習時間 12h40m
明細書読み
●ミラー電子検査装置 株式会社日立ハイテクノロジーズ
●成膜装置 アルバック
●太陽電池製造方法 アルバック
●電流センサ 東洋システム
●フィードバック制御 東洋システム
半導体制御（モーター）本
フレキシブルセンサについて情報整理
PDI制御について情報整理
学習記録 12/11
学習時間 12h30m
2879_セミコンジャパンをしゃぶり尽くせ
●画像センサをスキャンするための方法および装置 ボッシュ
●画像センサのためのピクセルユニット、画像センサ、光信号をセンシングする方法、ピクセルユニットを制御する方法、およびピクセルユニットを利用して画像を生起する方法 ボッシュ
●エアフロセンサモジュール ボッシュ
●圧力センサ ボッシュ
●温度センサの電蝕防止方法及び温度検出装置 ボッシュ
●ウエーハの生成方法 株式会社ディスコ
学習記録 12/12
学習時間 9h
●スパッタリング装置 株式会社アルバック
●成膜方法及び真空処理装置 株式会社アルバック
●露光装置および露光方法 ウシオ電機
●光照射方法、基板上構造体の製造方法および露光装置 ウシオ電機株式会社
●光照射装置及びこれを備えた露光装置 ウシオ電機株式会社
●露光装置 ウシオ電機株式会社
●小型装置保守機構 国立研究開発法人産業技術総合研究所
●デバイス製造装置および方法 独立行政法人産業技術総合研究所