月曜日から露光装置について情報の整理と背景知識の学習をしています。
関連する資料をダウンロードしたり、ネットで検索しながら、露光装置ノートを作成し始めました。
これまで、アライナー、ステッパー、スキャナーと露光装置の総称を目にし耳にし、ノートにも貼り付けていたのですが、薄い理解しかしていなく、原理や各々がどんな違いがあるのかを整理する為に、半導体の歴史と共に露光装置と関連する技術の歴史をさかのぼることになりました。
最新技術を理解するためには、なぜその技術ができたのか、何が求められてきてどう進化してきたのかを知る必要があるなとつくづく実感しました。
また、光源に関しても、本日の初めの目的はフォトリソグラフィにおける光源の種類（i線、g線、エキシマレーザー、EUV、電子線など）の整理をすることでしたが、その前に「光とは」という根本概念までさかのぼり、関連する他の要素の概念の整理から始めました。その後、人工光源となるランプ、レーザー、LEDなどの原理と構造と違いをまとめ、さらに、放射線の整理、光と放射線の違いを整理するなど、これまた、基礎知識をさかのぼる作業となりました。
当初の目的は明日になりそうです。
「能は差しかみない。差をみつけていくには基礎知識が必要となる。」
何度も何度もビデオセミナーで繰り返し言われていることですが、やってみてやっと意味が理解できました。
明日も、悔いなき一日を過ごすよう全力で格闘します。
学習記録 8/20-8/22
露光装置まとめ
光源まとめ
校正実ジョブ